该晶圆开发厂座落豫东的地区,注意制作85英寸半导体技术晶圆,单日废污水排出口量约800吨。原因制作期间中选择过多氢佛酸做出晶圆蚀刻,致使废污水里氟化物渗透压可以达到200-300mg/L,远超国内排出口原则(10mg/L下列)。
污水的成分及来自
废气最主要基二个部分:
晶圆蚀刻环节
:含高质量浓度氟化物(HF)、氰化钠及大量天价属
化学物质自动化机械打蜡 (CMP)生活污水
:含奈米级硅颗粒肥料、有机肥料络合剂
机械除垢生产废水
:含异丙醇、化学需氧量等有机质物
操作鑫霖环保标准流程
主要包括"化学物质悠长岁月中+水泥混凝土悠长岁月中+进一步过滤器"三级视频处理设计:
3级外理
:加药系统氯化钙和氢硫化钙,进行氟化钙水解,氟化物洗去率达85%
特殊工作
:移除PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),洗去电解质溶液态生态破坏物
三級工作
:按照多物料过滤程序器和几丁质酶炭离心分离,出水出水氟化物浓度值稳定的在8mg/L下面
主要的设备例如:pH电脑自动上下调整体系、斜管析出池、板框隔膜压滤机(淤泥脱水等)。
决定性使用效果
内容电脑运行5年监测资料资料信息显示:
氟化物平均值氧浓度:7.2mg/L(最低安全标准规定)
COD出掉率:92%
工业废水含水量率:≤65%
年收废氟化钙副设备约150吨,推动成本化利于