某半导体材料集成ic制做厂在晶圆制造流程中，实用硅烷来硅外延性繁殖，烟气洗衣机清洗塔引发高硫含量含硅生产生活污水。生产生活污水拥有pH振幅大（2-11）、硅硫含量高的优缺点，传统式解决做法易导致硅垢阻塞方面。 废水处理工艺化学成分及来源于 污废水 其主要成份为： 融解性硅酸盐 ：SiO₂含量达1000-1500mg/L 磷酸/氢空气氧化钠 ：洗衣塔耐酸碱洗衣液残留物 颗粒状硅 ：nm级SiO₂悬浊液 痕量砷 ：材质硫氰酸盐带 清理工艺的流程的流程 创新发展用到"多级中合+膜脱水+汽化心得"生产技术： 二级中合 ：用CaO缓解pH至4-5，转化硅酸钙沉淀物中，硅快速清理率60%。 二次元与 ：加Na₂CO₃将pH提高至9，进一大步沉淀物中所剩硅，串连用镁剂除砷。 反渗透装置设计 ：0.02μm卫浴陶瓷膜吸附nm级硅粉末，通量稳固在80LMH。 MVR化掉器 ：浓缩液高盐电镀废水，晶体出Na₂SO₄副软件，水回收率超90%。 从而体验 总硅从1500mg/L下降5mg/L以内 砷含碳量从0.8mg/L降落到0.01mg/L 机系统无积灰启用超越2年 每季度收售浓盐酸钠单晶体约800吨