某半导体技术生产中小型企业因晶圆刷洗工艺流程生产含氨生产废水，蓄水量200吨/天。生产废水内除氟化物外还含有氟化物和微量分析巨资属，治疗的难度大。本省释放标准化要氟化物＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 生活污水营养成分及来历 晶圆拆洗废水处理（主要的源）：含高锰酸盐指数200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀生产工艺电镀废水：含氢化物发生器铜、镍等巨资属，pH值下跌大 CMP机磨工业废水：含硅小粒及挥发酚 处里加工过程环节 采取"化学工业沉淀自己+膜剥离 +折点氯化"组合式生产工艺： 预外理 ：污泥脱水CaCl2除氟，保持pH在7.5-8. 反渗透膜系统化 ：去掉0.01μm综上所述小粒物 反参透提液 ：将氧化还原电位提液至1000mg/L这些 折点氯化 ：正确有效控制氯污泥脱水量，将氯离子流量转化为N2 铝离子互换 ：保障措施高价属标准 决定实际效果 高锰酸盐指数增强＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属含量不超过探测限 水循环率达75% 活性污泥有量减低40%